SapphiroScopeTM自动化工作站在将原锭(圆柱形或方形)加工成用于LED的晶圆基板或光学元件之前对其质量进行检查和评估。

SapphiroScopeTM无需抛光或 “开窗”就能提供材料内部缺陷的3D视图。它使操作者能够对进入的材料进行分类和优化,以获得最有效的加工方法,并预测晶圆产量。

•  制成晶圆之前晶体内部的气泡、构造缺陷和混浊等的自动化视图
• 缺陷的位置、尺寸和形态的测量与分类
•  优/差晶圆的分辨
• 用偏振光分析叠影、晶格缺陷和LAB
• 可与客户和供应商共享的缺陷的3D模型

一个可以直观地显示蓝宝石圆柱体或预成型晶体的缺陷的3D模型。用户可以旋转3D模型、扫描其核心部分、缩放、可视化并测量单个缺陷、标记有缺陷的晶圆。

以下这个3分钟的视频展示了操作者如何处理一个未抛光的蓝宝石芯:旋转、缩放、缺陷诊断以及生成(虚拟)晶圆。

点击右下⻆将视频放大。

材料:

• 蓝宝石
• 红宝石
• 透明陶瓷
•  LTO, LTN
•  石英
• 激光晶体
• 硼硅玻璃

尺寸:

• 圆柱铸块、方形块
• 2寸、4寸、6寸、8寸或定制尺寸

•  自动质量检测提高了可用材料的产量
• 早期缺陷检测确保只有最好的材料进入成本高昂的加工链
• 为生产团队提供快速客观的反馈
•  测量晶体生⻓参数对生产质量的影响
• 对您的产品进行客观的、标准化的、可重复的分级,增强您与客户的联系

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