Scientific Visual est fier de présenter une étude de cas sur l’impact des défauts des matériaux en saphir sur le wafering des LEDs.
Un système de scanner automatisé pour inspecter de cristaux a enregistré les défauts des boules de saphir lors de leur passage par des étapes de production consécutives : cristaux bruts (boules) ➜ carottes ➜ wafers utilisables pour croissance epitaxique.
En parallèle, la défectuosité a été évaluée par des experts à l’aide de méthodes manuelles. Le plan d’expérience a permis de retracer les défauts individuels à travers toutes les étapes de production. Grâce à ce traçage des défauts de bout en bout, les auteurs ont pu établir une corrélation entre
a) les défauts ayant un impact critique sur les wafers polis avec ceux identifiés par le scanner TotalScan™ dans les cristaux de saphir brut
b) comparer les résultats du contrôle qualité automatisé et manuel dans le saphir
c) démontrer l’augmentation du rendement grâce au “Smart Wafering » – positionnement optimal des cores de saphir dans un système de wafering.
L’article a été publié dans IEEE Xplore en tant que compte rendu de la China Semiconductor Technology International Conference 2022 (CSTIC – Semicon).
 |
Télécharger l’article |